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第383章 二期晶圆厂

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米设备。”

    提到轩辕半导体的二期工程,时间还要拉回到2017年。

    早在2017年的时候,许晨就敏锐地预判到了未来产能的瓶颈,直接下令筹备建造轩辕半导体二期工程,并且要求厂房标准必须符合65纳米甚至更高先进制程的工艺水平。

    当时的周平十分不理解。因为那时候他们连65纳米光刻机的影子都没见到,市面上更买不到,提前建这么高标准的无尘厂房,每天的维护和折旧都是一笔巨款。

    但周平作为生产老将,对许晨的信任早就深入心底。许晨说建,那就建。

    因为高级半导体制造对生产环境的要求极为苛刻,生产过程中不能有丝毫的低频震动。

    许晨经过实地考察,并没有将二期厂房建在航空港区一期工程的旁边,而是另外在郑州选定了一块地质结构极其稳定的独立地块。

    为了这事,许晨当时专门找了郑州市国资委的孙主任。孙主任看到轩辕半导体一期投产即盈利的良好效益后,非常痛快地批了地,并协调市属产业基金和银行组建银团,提供了长期低息贷款来解决厂房建设费用。

    时间转眼来到2018年9月。经过一年时间的日夜赶工,在郑州市政府水电配套的全力支持下,二期工程的超净无尘厂房已经提前建好。

    现在万事俱备,就差核心的光刻机入驻调整产线了。

    听着周平目前的担忧,许晨向后靠在椅背上,语气平静。

    “不用买国外的,用我们自己的。”

    在周平惊愕的目光中,吴汉明笑了笑,向这位厂长解释了天宇在过去三年里的另一项绝密布局。

    2015年左右,许晨就开始了光刻机产业链的布局。战略思路很明确:不造整机,只啃最硬的物镜、工件台、光源三大核心部件,然后交给国家队去集成。

    通过晨宇资本超17亿人民币的注资,天宇成立了长天光学(中科院王立国院士带队,突破NA 0.85深紫外光刻物镜)、天卓精密(水木大学朱建平教授带队,突破1.5纳米定位精度双工件台)以及天虹激光(中科院光电所郑勇牵头,突破193纳米准分子光源)。

    “为了打磨物镜,集团甚至从德国搞来了一台被禁运的离子束抛光机。因为有GPS自毁锁,还是国家派了信号对抗专家在咱们郑州建了物理屏蔽室给破解的。”吴汉明简单概述了一下当年的惊险过程。

    许晨接着说道:“2017年8月,这三大核心部件在上微电子(SMEE)的实验室完成了整机集成和初光测试,实测线宽达到了64.7纳米。经过这一年的量产标定,设备已经达到了商用晶圆厂的标准。”

    许晨看着周平,给出了一颗定心丸:“我已经向上微电子的贺建国总工确认过,天宇预购首批两台量产型65纳米干式DUV光刻机,单价1.2亿元。既然现在二期厂房已经建好,这两台设备马上就会直接进场。”

    ......
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