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第56章 不是?我江城六中要报李东的号?

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    “那就麻烦周主任了。”

    ……

    此时此刻,考场内。

    只剩下最后四十分钟了。

    李东坐在座位上,看着试卷的最后一页,眼神很复杂。

    他一直觉得自己为了改变命运,在群里披着马甲薅那些科学巨匠的羊毛,已经算是挺不要脸的行为了。

    但是,今天看了华轩科技出的这道压轴题,李东才知道,什么叫“资本的厚颜无耻”!

    【某半导体设备企业正在研发 28nm工艺节点量产型浸没式光刻系统,核心要采用 193nm ArF准分子激光光源,局部浸没式成像架构,在投影物镜最后一片镜片与晶圆表面之间,填充折射率 n=1.44的超纯水作为成像介质,以提升系统分辨率和成像精度。

    系统工作时,晶圆台以匀速直线扫描完成整片晶圆曝光,曝光激光的能量会在浸没液中产生局部瞬态温升,进而引发成像误差。】

    某半导体企业?到底是哪个半导体企业呢?好难猜呀。

    看完这个背景,再看问题。

    李东的眼角都开始抽搐了。

    【请你设计一套配套的成像误差实时补偿方案,需同时满足以下所有硬性指标:

    补偿精度:可将浸没介质折射率波动带来的曝光线宽误差,控制在±1.2nm以内;

    响应速度:补偿延迟≤1ms,可适配晶圆台≥1200mm/s的匀速扫描速度;

    抗干扰能力:补偿效果不受浸没液瞬态温度波动、流速扰动、溶解气体含量变化的影响;

    结构约束:方案不得改动现有曝光光学系统的核心结构与参数,不得改变浸没介质的成分与基础物性,无任何与晶圆表面直接接触的部件。

    量产要求:方案核心部件可标准化批量生产,单套系统物料成本≤100万元人民币。】

    “呵呵。”

    这题如果是说人话的话就是:

    我们国威装备现在在搞浸没式光刻机。

    然后遇到点小问题。

    水被激光加热以后,什么折射率变了呀,什么光路歪了呀,所以良品率崩了。

    我们呢,是养一大帮百万年薪的顶尖光学博士和流体力学专家。

    但是!他们好像不太会。

    所以,我们就想让你们这群连大学校门都没进的高中生,来试试能不能用不超过一百万块钱的成本,帮我把这个问题给秒了?

    “好不要脸!”

    就在李东吐槽题目的时候,考场里开始陆续传来“啪嗒”、“啪嗒”的声音。

    那是考生们放下笔的声音。

    坐在李东斜前方的那个魔都中学的男生,此刻正满脸的怀疑人生。

    不远处,乔帆的草稿纸上画满了流体力学的纳维-斯托克斯方程和热传导偏微分方程……

    这群学霸现在很懵逼,这给我干到哪来了?

    这都不是超不超纲的问题了。

    这是压根就没打算让人做出来啊!

    要知道高中的物理竞赛,不,甚至是大学本科的普通物理,研究的都是“理想模型”。

    一般都是无摩擦的表面,绝对刚性的杆,均匀恒温的介质。

    但这道题,是“工程现实”!

    别说做了,这些专攻物理竞赛的普通竞赛生,很多连这题里涉及的参数逻辑都看不懂!

    如果谁真的能提出一个完美自洽且可落地的方案……

    这就是帮国产半导体迈过了成熟制程自主可控的一道关键门槛。

    “你们华轩科技……真敢想啊。”
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